第1部分：

ROKU-ROKU碌碌產業 高速微細加工機的技術理念：

     日本ROKU-ROKU碌碌在日本機床制造商，其制造的高速微細加工機，專注微細孔加工(微鉆最小直徑0.01mm,最大加工深度D/L=80倍)，微型輪廓或零件加工，模具清根清角加工(最小直徑R0.01mm），鏡面效果加工（Ra0.003um,即3nm）,超硬材料切削切削（如鎢鋼，淬火鋼，陶瓷材料等），高硬度材料鏡面加工等領域。

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第2部分：加工案例背景分析：

      隨著這二三年，美國對中國發起貿易戰，針對中國芯片行業卡脖子的情況越來越嚴重，國家層面對芯片的研發重視程度提升，天量資金進入芯片行業，探針卡夾具（含線針夾具）領域作為芯片產業鏈的一個環節，也受到熱捧；

同時受國外技術升級影響，對探針卡測試夾具技術要求越來越高，微孔的直徑往更微小方向發展。

       目前，碌碌機床測試夾具的微孔直徑最小為0.018mm，加工深度一直為10倍徑（加工深度為加工直徑的10倍），而且兩孔間孔壁厚度0.007mm（這是目前挑戰過最薄的壁厚尺寸）；

      受芯片行業某日本客戶要求，鄙司新近做了如下測試夾具的微孔試加工：

        機床品牌：ROKU-ROKU碌碌

        機床型號：KR-400高速微細加工機

        主軸轉速：HSK-E25規格，40000rpm

        檢測設備：KEYENCE基恩仕VHX-7000工具顯微鏡(誤差2um)

        加工材料：PEEK

        微孔直徑：?0.15mm，加工深度1.5mm，約數量500個; 

                      ?0.08mm，加工深度0.1mm，約數量500個;

       孔壁厚度：ABCD四區的兩孔之間的孔壁厚度分別0.01，0.02，0.03，0.04mm；

       加工難度：此材料硬脆，容易起毛刺，同時0.08mm微鉆實在太小，對機床主軸轉速及主軸跳動，刀柄裝夾精度等均有很高的要求，而且直徑0.08mm的微鉆容易磨損；孔壁厚度最小只有0.01mm(10um) ，對機床硬件精度及熱變位提出非?？量痰囊?；

      試加工目標：本次試加工主要驗證微孔直徑加工精度，薄壁孔加工是否會出現破壁及精度誤差較大的情況！

       日本ROKU-ROKU碌碌產業株式會社，作為測試夾具領域沉浸多年的專業制造商，深得此領域的加工精髓，日本、韓國、中國臺灣等地高端需求的測試夾具供應商均主力使用ROKU-ROKU碌碌高速微細加工機；

      未來2-3年之間，中國本土測試夾具供應商一定會崛起，同時測試夾具的微孔加工精度要求一定大幅提升，目前還處于上升期，現在中國本土的供應商最需要做的是技術沉淀，訓練團隊，積極迎戰來自日本，歐美，韓國，中國臺灣等地市場競爭！

第3部分：入口出口處毛刺檢測 

1，微孔0.146mm入口處的檢測報告分析

      上面ABCD等4個加工區域尺寸，微孔直徑均0.146mm微孔，但從右下角開始往左邊計算，ABCD區域的微孔的孔壁厚度分別0.01，0.02，0.03，0.04mm；

      從200倍工具顯微鏡來看效果，微孔0.146mm入口處，只有少量的毛刺，這個加工效果算非常不錯。如果從100倍以下的效果來看，幾乎是看不到任何的毛刺，在使用ROKU-ROKU碌碌KR-400高速微細加工機，對微鉆的加工工藝需要很多細節上的注意；

2，出口處微孔0.08mm的檢測報告分析

       從100倍工具顯微鏡來看效果，微孔0.08mm出口處，只有少量的毛刺，這個加工效果算非常不錯。

第4部分：微孔直徑檢測

1，微孔0.15mm入口處直徑檢測報告

      上面微孔0.15mm入口處，本次實驗使用國產的0.146mm規格微鉆，上面檢測為隨機檢測28孔，微孔直徑測量值最小0.1438mm，最大值為0.1470mm; 整體上微孔直徑檢測精度誤差為-2.2到1um之間，加工精度一致性非常好，碌碌高速鉆機的加工穩定性非常好！

2，微孔出口處0.08mm直徑檢測報告

      此次測試加工，出口處的微孔直徑為0.08mm，本次實驗使用日本品牌0.08mm規格微鉆（實際上微鉆直徑檢測誤差1um內），上面檢測為隨機檢測58孔，微孔直徑測量值最小0.0791mm，最大值為0.0832mm; 整體上檢測最大精度誤差為3.2um（日本基恩仕工業顯微鏡硬件檢測精度誤差2um內），加工精度一致性非常好，碌碌高速鉆機的加工穩定性非常好！

第5部分：兩孔之壁孔厚度檢測

1,入口處微孔直徑0.146mm兩孔壁厚度0.01mm，(實際標準孔壁厚度為0.01mm)檢測：

      微鉆直徑0.146mm，上面按0.01mm孔壁厚度來加工，標準壁厚為0.156mm(標準壁厚=微鉆直徑0.146+加工壁厚0.01mm=0.156mm)。
       上面檢測報告，顯示兩孔中心距最小值為0.1550mm(工業顯微鏡檢測誤差2um)，最大值為0.1619mm，即孔壁厚度從最小值9um到最大值15.9um之間(實際標準孔壁為10um，孔壁誤差從0.1-5.9um)，而且無一孔破壁的！

2,入口處微孔直徑0.146mm兩孔壁厚度0.02mm（實際標準孔壁厚度為0.02mm)檢測：

      微鉆直徑0.146mm，上面按0.02mm孔壁厚度來加工，標準壁厚為0.166mm(標準壁厚=微鉆直徑0.146+加工壁厚0.02mm=0.166mm)。
     上面檢測報告，顯示兩孔中心距最小值為0.1672，最大值為0.1712mm，即孔壁厚度從最小值0.0212mm到最大值0.0252mm之間(實際標準孔壁為0.02mm，壁厚誤差為1.2um--5.2um)，而且無一孔破壁的！      

     3,入口處微孔直徑0.146mm兩孔壁厚度0.03mm(實際標準孔壁厚度為0.03mm)檢測：

      微鉆直徑0.146mm，上面按0.03mm孔壁厚度來加工，標準壁厚為0.176mm(標準壁厚=微鉆直徑0.146+加工壁厚0.03mm=0.176mm)。
     上面檢測報告，顯示兩孔中心距最小值為0.1761，最大值為0.1819mm，即孔壁厚度從最小值0.0301mm到最大值0.0359mm之間(實際標準孔壁為0.03mm,壁厚誤差為0.1um--5.9um)，而且無一孔破壁的！    

     4,入口處微孔直徑0.146mm兩孔壁厚度0.04mm(實際標準孔壁厚度為0.040mm)檢測：

      微鉆直徑0.146mm，上面按0.04mm孔壁厚度來加工，標準壁厚為0.186mm(標準壁厚=微鉆直徑0.146+加工壁厚0.04mm=0.186mm)，
     上面隨機14孔檢測報告，顯示兩孔中心距最小值為0.1885mm，最大值為0.1914mm，即孔壁厚度從最小值0.0425mm到最大值0.0454mm之間(實際標準孔壁為0.04mm,壁厚誤差為2.5um--5.4um)，而且無一孔破壁的！